Produkt
Mikroventil, normal geschlossen, selbstsperrend
Anbieter: Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM
Allgemeine Beschreibung
Diese Neuentwicklung beinhaltet als zentrale Funktion eine selbstsperrende Eigenschaft. Selbstsperrend bedeutet, dass der Einlassdruck eine schließende Funktion auf dieses Ventil ausübt, und es daher auch bei Ausfall der Versorgungs- spannung geschlossen bleibt. Das Siliziumventil besteht aus zwei durch Silicon Fusion Bond aufeinander gefügten Siliziumchips und ist daher prinzipiell auch für chemisch aggressive Medien geeignet.
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